TY  - BOOK
AU  - Elwenspoek,M.
AU  - Jansen,H V
TI  - SILICON MICROMACHINING
SN  - 052159054X
U1  - 621.3815 
PY  - 1998///
CY  - 
PB  - Cambridge Univ. Press, Cambridge
KW  - Silicon
KW  - Micromachining
KW  - Etching
ER  -