TY  - GEN
AU  - Schulz, M.
AU  - 
AU  - Pensl, G.
AU  - 
TI  - INSULATING FILMS ON SEMICONDUCTORS
U1  - 621.38152 
PY  - 1981///
CY  - Berlin
PB  - Springer-Verlag
KW  - Semiconductros -- Congresses
KW  - Insulating -- Congresses
ER  -