TY - GEN AU - Badawy,Wael AU - AU - Moussa,Walied AU - AU - Wael Badawy,Walied Moussa AU - TI - MEMS, NANO AND SMART SYSTEMS SN - 0769521894 U1 - 620.5 PY - 2004/// CY - PB - Ieee Computer Society Press, Los Alamitos KW - Nano KW - Smart Systems KW - Icmens ER -